無油真空泵具有結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。本產(chǎn)品與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護(hù)簡單，移動方便，不產(chǎn)生油煙，不污染環(huán)境，尤其在要求較高的實(shí)驗(yàn)室使用較好。也是實(shí)驗(yàn)室最常備的設(shè)備之一。

 

　　因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達(dá)不到抽真空的要求，就會達(dá)不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。最后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才能滿足需求。

 

　　無油真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

　　4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

 

　　結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

　　無油直聯(lián)旋片真空泵，是一種旋片式單級真空泵。用來抽除密封容器中的氣體，以獲取真空的基本設(shè)備。

　　該泵可用于空調(diào)，制冷設(shè)備的修理，醫(yī)療儀器的抽吸裝置，印刷機(jī)械，真空包裝，真空吸塑，理化實(shí)驗(yàn)及需要真空環(huán)境的小型裝置等各種真空作業(yè)用。還可以作為小型的油增壓泵、油擴(kuò)散泵，分子泵等的前級泵使用。

　　該泵不適用于抽除對黑色金屬有腐蝕的，對泵油起化學(xué)反應(yīng)的，含有顆粒塵埃的氣體，以及含氧過高，有爆炸性的有毒氣體。更不能作為傳輸泵使用。